真空安定性測(cè)試儀傳感器測(cè)壓線(xiàn)性檢驗(yàn)步驟如下:
使系統(tǒng)處在真空狀態(tài)下,關(guān)上二通閥(“19”),開(kāi)啟放氣閥(“16”),讓空氣進(jìn)入真空泵,關(guān)斷真空泵開(kāi)關(guān)(“2”)。
微微開(kāi)啟二通閥,讓少許空氣進(jìn)入真空系統(tǒng)后,即關(guān)閉該閥,觀察真空表指針?biāo)缸x數(shù)和大氣壓的差值與測(cè)壓表上讀數(shù)是否一致。
重復(fù)該過(guò)程,使真空表指針停在不同位置上,并觀察其讀數(shù)和大氣壓的差值是否與測(cè)壓表上讀數(shù)一致,若兩者之間相差不大于±0.2KPa,則傳感器測(cè)壓線(xiàn)性良好。
檢驗(yàn)完畢,真空系統(tǒng)放入大氣,關(guān)斷測(cè)壓表電源。
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